光刻设备

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极紫外光刻新技术问世
《电子质量》2024年第8期75-75,共1页
据报道,日本冲绳科学技术大学院大学(OIST:Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University)设计了一种极紫外(EUV:Extreme Ultra-Violet)光刻技术,超越了半导体制造业的标准界限。基于此设计的光刻设备可采用更小的...
关键词：半导体制造业 极紫外光刻 光刻设备 光刻技术 日本冲绳 EUV光刻 降低成本 
【国际资讯】信越化学将于2028年量产封装基板制造新设备
《印制电路信息》2024年第7期30-30,共1页
日本信越化学6月宣布,开发了一种全新的半导体封装基板制造设备,和继Micro LED制造系统之后的新制造方法。这项技术放弃先前使用光刻设备来形成布线的传统方法,而是使用激光在基板上蚀刻布线。由于不再需要光刻过程,并且消除了对Chiplet...
关键词：封装基板 芯片封装 光刻设备 制造设备 微纳加工 光刻胶 物理极限 光刻过程 
阿斯麦欲迁出荷兰,是谁惹的祸
《世界知识》2024年第8期62-63,共2页丁纯 
荷兰光刻机企业阿斯麦近期表示有意将总部迁出荷兰一事引发全球关注。阿斯麦作为欧洲市值最大的公司之一、光刻机设备制造的巨擘,市场份额逾全球光刻设备的八成,在最高端的极紫外光刻机领域甚至达100%,其去留无疑牵动着荷兰乃至整个欧...
关键词：光刻机 光刻设备 荷兰政府 阿斯 设备制造 市场份额 迁出 
双周公司
《中国经济周刊》2024年第2期9-9,共1页
2024.1.16—2024.1.30ASML 2023全年净销售额达276亿欧元1月24日,光刻设备领先供应商阿斯麦(ASML)发布了2023年第四季度及全年财报。该公司第四季度净销售额达到72亿欧元,毛利率51.4%,净利润达20亿欧元。ASML 2023年第四季度的新增订单...
关键词：第四季度 欧元 毛利率 财报 光刻设备 供应商 净利润 销售额 
荷兰进一步收紧对华半导体出口
《世界知识》2023年第16期62-63,共2页孙榕泽 
6月30日,荷兰政府宣布对部分先进芯片制造技术及产品施行出口管制,自9月1日起正式实施。此次荷兰出台的半导体出口管制规定主要针对特定的先进半导体制造设备,包括薄膜生产、光刻设备、沉积设备以及生产先进半导体制造设备所需的工艺及...
关键词：出口管制 荷兰政府 光刻设备 中国半导体产业 半导体制造设备 光刻机 工序工艺 
光刻设备运输中的并联结构减振方案分析
《集成电路应用》2023年第2期303-305,共3页宋兴龙 
阐述光刻设备中的大型精密设备运输减振需求,设计了基于钢丝绳弹簧并联结构的运输减振方案,可以满足运输过程中冲击<5g减振需求。探讨钢丝绳并联结构的动力学特性,获得不同参数下系统的减振特性,针对运输减振方案中的结构进行强度仿真,...
关键词：光刻设备 大型精密设备 钢丝绳并联 减振系统 
电子束光刻设备发展现状及展望被引量：4
《科技导报》2022年第11期33-44,共12页梁惠康 段辉高 
国家自然科学基金优秀青年科学基金项目(51722503)。
电子束光刻设备在高精度掩模制备、原型器件开发、小批量生产以及基础研究中有着不可替代的作用。在国外高端电子束光刻设备禁运的条件下,中国迫切需要实现高端国产化设备的突破。介绍了电子束光刻设备发展历程,列举了当前活跃在科研和...
关键词：电子束光刻设备 微纳制造 高斯束 变形束 多束 
媒体视线
《中国职业经理人》2021年第4期12-13,共2页
去年中国光刻设备进口增长97%去年,中国从海外进口了价值137亿美元的半导体设备,较前一年增长了30%以上,这些机械设备的短缺非常严重,以至于日本的二手机器正在进入中国,且价格大幅上涨。光刻机是芯片制造中的关键步骤,而开发所谓用于...
关键词：半导体设备 激励措施 光刻设备 芯片制造 机械设备 税收减免 光刻机 极紫外 
光刻设备中光学系统的温压控制研究
《集成电路应用》2021年第4期20-21,共2页王明 
上海市发展和改革委员会(XA4300089-2017-604)先进封装光刻机产业化课题。
阐述光刻设备中光学系统的温压控制,它融合了先进温度与压力控制算法、小型流体管路冷却与稳流技术等多项先进技术,能够为系统内的光学组件提供温度精度优于±0.02℃,压力控制精度优于±3Pa的受控洁净气体,是解决光刻设备中光学系统相...
关键词：集成电路制造 换热 温度控制 压力控制 
光刻设备中冷却水系统污染控制研究
《集成电路应用》2021年第3期28-30,共3页王明 
上海市发展和改革委员会(XA4300089-2017-604)先进封装光刻机产业化课题。
阐述光刻设备中冷却水系统污染控制,针对水系统运行时产生的污染物,研究其产生机理,分析其来源,定义其控制手段,为系统可靠运行提供保障。
关键词：集成电路制造 水系统 机理研究 污染控制 
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