真空材料

作品数：50被引量：54H指数：5
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真空材料放气率高精度测量装置被引量：1
《真空》2023年第4期60-64,共5页李津铭 王进伟 刘俊男 陈明 
介绍了上海光源二期线站工程机械真空辅助实验室研制的一套基于双通道气路转换法的真空材料放气率高精度测量装置,对同步辐射真空系统中常见的无氧铜材料样品开展放气率测试研究。实验测量并计算得出样品与本底和本底在不同温度状态、...
关键词：真空材料 放气率 双通道气路转换法 
阻滞热传舍我其谁---隔热陶瓷及其军事应用
《兵器》2019年第9期64-66,共3页
隔热材料能够有效阻滞热量传递。它分为多孔材料、热反射材料和真空材料等。后两者一个是反射系数很高的金属,一个是利用材料内部的真空隔热。而隔热陶瓷更倾向于第二类。
关键词：隔热材料 军事应用 陶瓷 热量传递 多孔材料 真空材料 反射材料 反射系数 
基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究被引量：1
《真空》2019年第2期31-36,共6页黄化岩 刘芳 
电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附(KE...
关键词：同步辐射光源 电子诱导脱附 真空材料 
极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究被引量：4
《质谱学报》2018年第4期392-398,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 
极紫外光刻机关键技术研究项目(2012ZX02702)资助
水蒸气(H_2O)和碳氢化合物(C_xH_y)的放气分率是评价极紫外光刻机(EUVL)真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相同的四极质谱计,这不仅大大增加了测试设备造价,而且会导致测试结果存在误差。为解决这一问题,...
关键词：极紫外光刻机(EUVL) 真空材料 放气分率 四极质谱计(QMS) 
高精度真空材料放气测试研究被引量：13
《真空科学与技术学报》2016年第3期251-257,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空...
关键词：真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分 
CSRm束流准直器模型腔设计
《原子能科学技术》2015年第B10期514-517,共4页李朋 原有进 杨建成 蒙峻 毛瑞士 柴振 康新才 李敏 郑文亨 姜培勇 
国家自然科学基金资助项目(11305227)
目前国际上的强流重离子加速器通常在机器中安装镀有低解吸率材料的束流准直器用于阻挡由于电荷态变化而损失的离子,降低解吸出的粒子数以维持真空系统的稳定。本文计划在现有的加速器冷却储存环主环(CSRm)上开展准直器模型腔测试、真...
关键词：高能强流重离子加速器 束流损失 准直器 真空材料解吸率 
基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究被引量：15
《真空》2013年第4期49-52,共4页冯焱 董猛 吴晓斌 李得天 成永军 张瑞芳 
在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率。为此,本文提出了基于分压力测量的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来测试单一气体的放气率。基...
关键词：材料单一气体的放气率 双通道气路转换 四极质谱计 测试装置 
大尺寸装备真空密封控制
《机械》2012年第S1期12-,27,共2页李大东 汪洋 许耀宇 
真空技术是实现许多尖端技术的重要手段,在我国发展建设各行各业中都占据着重要的地位。随着科学技术的发展和进步,装置向高真空或超高真空状态发展的趋势已成为必然,所以对真空密封技术也提出了更高的要求。大尺寸装备的真空度受环境...
关键词：真空材料 真空度 密封 密封圈 
一周投资信息
《证券导刊》2010年第44期11-12,共2页
股权转让华东科技(000727):日前发布公告称,公司拟1元受让南京华东赛斯真空材料有限责任公司31.11%的股权。首创股份(600008):日前发布公告称,在产交所挂牌转让所持北京信息基础设施建设股份有限公司12.92%股权。
关键词：有限责任公司 公告 股权转让 真空材料 基础设施建设 发布 股份有限公司 科技 转让价格 股份转让 
《真空材料》一书出版发行
《真空》2009年第2期44-44,共1页
由东北大学张以忱编著的《真空材料》一书于2005年12月由冶金工业出版社出版发行。全书共14章,较详细论述了真空材料的基础理论、机械、物化、电磁和真空性能及真空工程技术所用的金属、非金属及磁性材料;溅射镀膜用靶材;真空辅助材料...
关键词：真空材料 出版发行 工程技术 低温制冷系统 基础理论 冶金工业 东北大学 真空性能 
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