电容式RF MEMS谐振器  

Capacitive RF MEMS Resonators

作　　者：贾英茜[1,2] 赵正平[1,3] 杨拥军[2] 王立发[1] 

机构地区：[1]河北工业大学信息工程学院,天津300130 [2]中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051 [3]中国电子科技集团公司,北京100846

出　　处：《微纳电子技术》2010年第2期99-104,共6页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两个重要的结构参数对谐振器性能的影响。最后,对电容式微机械谐振器存在的问题作了总结,对其发展趋势做出展望。The capacitive RF MEMS resonators for communication are introduced, and the advantage of the resonators for the miniaturization of communication systems is presented. The principle of work, basic parameters and equivalent circuits of the capacitive MEMS resonators are analyzed. The principle of working and resonance frequency of several resonators with common structures, including comb resonators, beam resonators and disk resonators, are introduced. The effect of the capacitive gap and anchor on the performance of the resonators is analyzed emphatically. At last, the problem of capacitive RF MEMS resonators is summarized, the future prospect of resonators is presented.

关 键 词：谐振器 射频 谐振频率 品质因数 锚 电容间隙 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]