电容间隙

作品数：5被引量：7H指数：2
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相关机构：中国科学院国防科学技术大学东南大学中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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电容式RF MEMS谐振器被引量：2
《微纳电子技术》2010年第2期99-104,共6页贾英茜 赵正平 杨拥军 王立发 
介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式...
关键词：谐振器 射频 谐振频率 品质因数 锚 电容间隙 
一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器被引量：2
《固体电子学研究与进展》2009年第1期143-146,共4页毛健 车录锋 林友玲 李玉芳 周晓峰 熊斌 王跃林 
国家863计划(2006AA04Z363);YY项目(51308050220)资助
提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感...
关键词：电容式加速度传感器 硅硅键合 圆片级真空封装 电容间隙控制 
带状线交指滤波器的准确设计被引量：1
《无线电工程》2007年第8期35-37,64,共4页田唯人 张建利 
在L、S等较低的微波频段,带状线交指滤波器是常用的滤波器之一。文献上一般只给出比较详细的矩形杆间距和带状线宽度的设计公式,对于谐振杆长度l或者端间隙Sa的确定,以及终端杆边距S0的确定,仍然要通过实验方法不断修改多次才能完成。...
关键词：滤波器 带状线 电容间隙 
带状线交指滤波器电容间隙的准确设计被引量：2
《火控雷达技术》2007年第2期97-102,共6页田唯人 麻媚香 
在L、S等较低的微波频段,带状线交指滤波器是常用的滤波器之一,一般情况下文献上只给出比较详细的矩形杆间距和带状线宽度的设计公式,对于谐振杆长度l或者端间隙Sa的确定,以及终端杆边距So的确定,仍然要通过实验方法不断修改多次才能完...
关键词：交指滤波器 电容间隙Sa 
带状线交指滤波器电容间隙的准确设计
《通信与测控》2003年第3期1-7,15,共8页田唯人 麻娟香 
在L、S等较低的微波频段，带状线交指滤波器是常用的滤波器之一，文献上一般只给出比较详细的矩形杆间距和带状线宽度的设计公式，对于谐振杆长度，或者端间隙Sa的确定，以及终端杆边距Sa的确定，仍然要通过实验方法不断修改多次才能完...
关键词：带状线 交指滤波器 电容间隙 谐振杆长度 终端杆边距 
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