高精度电容式压力传感器测量方法  

Measurement method of high-precision capacitive pressure sensor

作　　者：周华鹏[1] 毛建国[1] 顾筠[2] 李芳培[1] 柏方超[1] 卢文玉[1] 

机构地区：[1]南京航空航天大学能源与动力学院,江苏南京210016 [2]江苏广播电视大学信息工程系,江苏南京210017

出　　处：《传感器与微系统》2010年第2期104-107,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50776044);江苏省普通高校研究生科研创新计划资助项目(CX08B_044Z)

摘　　要：提出了一种高精度、低成本的电容式压力传感器的测量方法。用RC振荡器将电容式传感元件的变化调制为时变频率信号,用SSP1492芯片测量该频率变化量,并送入C8051F021单片机,用高阶多项式完成频率变化到压力变化的解算,实现了高精度压力测量。实验结果显示:该方法用于电容式压力传感器的测量精度优于0.02%FS。A measurement approach for high-precision and low cost capacitive pressure sensor is presented. ARC oscillate circuit is used to modulate capacitive variance to frequency signal, which is measured by SSP1492. A C8051F021 MCU is employed to process the compute task from frequency variance to pressure variance by high- order polynomial so that high-precision pressure measurement is achieved. Experimental results show that the measurement precision by the proposed method can achieve 0.02 % FS.

关 键 词：压力传感器 信号调理 压力测量 单片机 

分 类 号：TP212.11[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]