蚀刻深度传感器耦合问题的研究  

The Study of Coupling Problem on Etching depth Sensor

作　　者：赵光兴[1] 洪彩云 杨国光[2] 陈洪 

机构地区：[1]华东冶金学院自动化系 [2]浙江大学光科系

出　　处：《仪表技术与传感器》1998年第12期8-10,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：国家自然科学基金;安徽省自然科学基金

摘　　要：对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件的振动对蚀刻深度的测量结果有较大影响。给出了振动误差的抑制措施。The coupling problem between sensitive element and sensing element in etching depth sensor is discussed. It shows that the measurement result of etching depth is quite influenced by the vibration of sensitive element. The removing method on the vibration error is given.

关 键 词：传感器 耦合 蚀刻 微光学元件 蚀刻深度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH－39[自动化与计算机技术—控制科学与工程]