微光学元件

作品数：101被引量：234H指数：7
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面向微光学元件表面形貌测量的涡旋相移数字全息技术
《中国光学（中英文）》2024年第4期852-861,共10页薛一梦 刘丙才 潘永强 房鑫萌 田爱玲 张瑞轩 
陕西省科技厅项目(No.2023KXJ-066);陕西省教育厅项目(No.23JY034);陕西省自然科学基础研究计划项目(NO.2024JC-YBMS-523)。
非接触、无损害的相移数字全息技术对微光学元件检测具有独特优势。因传统的相移数字全息技术需要对相移器进行精细控制和繁琐校准,同时其光路易受到机械振动干扰,导致全息再现像的质量降低。本文借助涡旋光特殊的相位分布,提出了一种...
关键词：涡旋相移 数字全息显微 螺旋相位板 相位重建 
基于SU—8光刻胶的微光学元件制备工艺研究被引量：1
《传感器与微系统》2022年第11期22-26,共5页鹿胜康 唐波 陈伟 郜晚蕾 金庆辉 
国家自然科学基金资助项目(61871243);宁波市科技创新2025重大专项项目(2022Z092);宁波大学海洋学科群项目及王宽诚基金资助项目。
面向光学传感器微型化需求,针对传统光学元件体积偏大和不易集成等问题,探索了使用SU—8光刻胶制备聚合物微型透镜等光学元件的全套制备工艺。对工艺中存在的问题进行逐一解决,创新性地使用长时间45℃低温前烘技术解决了厚SU—8结构制...
关键词：SU—8光刻胶 微光学元件 制备工艺 低温前烘 聚合物 
飞秒激光时空整形电子动态调控加工微光学元件被引量：7
《中国激光》2022年第10期99-118,共20页吴梦楠 李晓炜 向志昆 张乐仪 杨炎培 王志鹏 刘洋 
国家自然科学基金(52075041);北京市自然科学基金(JQ20015);北京高校卓越青年科学家计划(BJJWZYJH01201910007022)。
飞秒激光加工具有精度高、无污染、材料适用性广、热效应小等特点,在加工微光学元件方面有着独特的优势。通过对飞秒激光进行时间和空间整形,调控电子动态及其后续的电子-声子作用过程,能够有效提高加工精度和加工效率,解决微光学元件...
关键词：激光技术 飞秒激光 电子动态调控 微孔加工 时空整形 微光学元件 
利用多轴非对称结构光束的微球光学操控被引量：2
《中国激光》2021年第24期184-192,共9页陈君 黄曾鑫 匡登峰 
天津市自然科学基金(18JCZDJC38200);南开大学-泰山学院合作项目(F1033851)。
设计了一种用于产生多轴非对称结构光束的新型多轴非对称指数型锥器件,器件由非对称结构和多轴结构复合而成。利用理论计算、数值模拟和实验测量方法,验证了多轴非对称结构光束在传播过程中会产生多个焦点并且具有独特的能流特性。利用...
关键词：微纳光学 微光学元件 相位调制 激光光束整形 光学捕获 光学操纵 
飞秒激光制备耐高温蓝宝石内部几何相位波带片(特邀)被引量：1
《光子学报》2021年第6期71-77,共7页卢轶明 高炳荣 刘学青 陈岐岱 
国家重点研发计划(No.2017YFB1104600)。
针对晶体材料几何相位元件加工难、精度低、效果差等问题,提出了利用飞秒激光诱导纳米条纹技术来实现材料内部几何相位衍射元件的制备。飞秒激光近阈值加工方式有效的提升了加工精度,其精度为340 nm。通过实时调控扫描激光的偏振可以精...
关键词：飞秒激光 微光学元件 几何相位 蓝宝石 高温成像 内部加工 
刻蚀辅助激光灰度改性技术制备硅基三维微结构被引量：1
《激光与红外》2021年第3期274-278,共5页李乾坤 刘学青 成荣 
硅基三维微纳结构在红外成像与探测方面具有重要的应用价值。然而,受加工技术的限制,硅基复杂面型三维微纳结构的制备仍然是一个难题。本文提出了利用刻蚀辅助激光灰度改性技术制备硅基三维微纳结构。利用激光改性制备的硅的氧化层作为...
关键词：激光技术 刻蚀 灰度改性 硅基微纳结构 微光学元件 
前沿科技动态
《科技中国》2019年第11期103-106,共4页
中美联合开发高速纳米3D打印技术,打印速度快1000倍据LLNL官网2019年10月3日消息,香港中文大学和美国劳伦斯利佛莫尔国家实验室(LLNL)的研究人员开发出一种新的纳米级3D打印技术——飞秒投影双光子光刻(FP-TPL)。该技术能够在不牺牲分...
关键词：打印速度 前沿科技 柔性电子器件 光刻技术 双光子 微光学元件 微小结构 生物支架 
微光学元件宽带光源照明下无色散边界条件探讨
《物理学报》2019年第22期302-309,共8页黄燕燕 张旭琳 杨伟 王笑冰 雷蕾 彭文达 徐平 
国家自然科学基金(批准号:61275167);深圳市基础研究计划(批准号:JCYJ20180305125430954,JCYJ20140418095735591,JCYJ20130329103020637)资助的课题~~
基于宽带光源微光学元件(如集成导光板)在衍射色散方面的设计需求,本文构建了宽带光源微光学元件衍射理论分析模型,探讨分析了衍射光谱的色度规律特性,提出并定义了能准确定量衡量衍射光束色散程度的色散量C,同时明确给出了零色散的边...
关键词：微光学元件 宽带光源 无色散 集成导光板 
基于计算全息的衍射光学元件印模制备方法研究被引量：1
《应用光学》2019年第3期404-410,共7页武耀霞 张锦 孙国斌 蒋世磊 弥谦 李世杰 杨鹏飞 王玉瑾 
陕西省科技厅重点实验室项目(2013SZS14-P01);陕西省教育厅重点实验室项目(13JS040);西安工业大学校长基金(302021501)
介绍了一种基于计算全息的非对称多台阶衍射光学元件印模制备方法,研究了相位型计算全息的工作原理和设计方法,建立了相应的光学系统和衍射光波模型,设计了求取相位型印模微结构的算法流程。在理论分析的基础上,以叠心图案为例,利用MAT...
关键词：计算全息 衍射微光学元件 印模微结构 再现图像 
离子束刻蚀辅助飞秒激光加工制备碳化硅微光学元件被引量：7
《光子学报》2018年第12期45-50,共6页于磊 杨双宁 刘学青 李德辉 
国家重点研发计划(No.2017YFB1104600);国家自然科学基金(Nos.91423102,61590930,61435005);中国博士后科学基金(No.2018M631456)资助。
为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题,提出了离子束刻蚀与飞秒激光复合加工技术.利用飞秒激光加工技术在碳化硅表面制备微纳结构图形,然后通过离子束刻蚀技术对碳化硅微纳结构进行刻蚀,以调控结构的线宽和深度,使结...
关键词：超快激光 半导体加工技术 离子束刻蚀 碳化硅 微光学元件 
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