GaAs/AlGaAs多量子阱FET-SEED灵巧象元  

GaAs/AlGaAs Multiple Quantum Well FET-SEED Smart Pixels

作　　者：陈弘达[1] 郭维廉[1] 吴荣汉[2] 陈志标[2] 高文智[2] 

机构地区：[1]天津大学电子工程系,300072 [2]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《固体电子学研究与进展》1998年第4期343-348,共6页Research & Progress of SSE

基　　金：国家集成光电子学联合实验室(半导体所区)开放课题

摘　　要：将GaAs／AlGaAs多量子阱光探测器、光调制器与GaAs场效应晶体管（FET）混合集成,构成FET-SEED灵巧象元。光探测器和光调制器均为反射型自电光效应器件（SEED）,光源为骨子阱半导体激光器。测出的光输出Pout／光输入Pin特性表明,光输入信号对光输出信号有明显的调制作用,光输入信号较小的变化可以导致光输出信号较大的变化。We experimentally demonstrate the operation of a hybrid integrated optoelectronic circuit with optical input and output consisting of a GaAs/AlGaAs multiple-quantum-well(MQW) photodetector, modulator and GaAs metal semiconductor field effect transistor(MESFET). Photodetector and modulator are reflective self electrooptic effect device (SEED). A low optical power input causes a modulation of a higher optical power output.

关 键 词：多量子阱 灵巧象元 FET-SEED 砷化镓 

分 类 号：TN304.2[电子电信—物理电子学] TN386