基于条纹图的微结构离面运动特性测量  

作　　者：谢勇君[1,2,3] 史铁林[2,3] 刘世元[2] 

机构地区：[1]暨南大学电气自动化研究所,珠海519070 [2]华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉430074 [3]武汉光电国家实验室(筹)光电材料与微纳制造研究部,武汉430074

出　　处：《计量技术》2010年第3期3-6,共4页Measurement Technique

基　　金：国家自然科学基金（50775090）;新世纪优秀人才支持计划（NCET-06-0639）;广东省自然科学基金博士研究启动项目（9451063201002281）;广东高校优秀青年创新人才培育项目（LYM08019）;广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题基金;暨南大学青年基金项目（51208027）.

摘　　要：为了测量微结构离面（Out—of—plane）运动特性，利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统，首先采集微结构运动周期内不同时刻的一系列干涉条纹图，并通过SUSAN滤波算法对各干涉条纹图进行降噪处理，再利用5步相移算法从干涉条纹图中提取被测微结构的相位信息得到包裹相位的锯齿型条纹图，并采用质量导向图法进行去包裹处理，最后根据相位高度关系式可得到被测微结构运动周期内不同时刻的形貌图及其离面运动曲线。通过实验对正弦基础激励下硅微悬臂梁的离面振动响应进行了有效测量，且测量重复性小于10nm。

关 键 词：微结构 条纹图 离面运动 SUSAN滤波算法 相位去包裹 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]