利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究  

Study on Characteristics of Micro Gas Flow Sensor Using MEMS

作　　者：温殿忠[1] 方华军[1] 

机构地区：[1]黑龙江大学信息与电子科学系,哈尔滨150080

出　　处：《传感技术学报》1998年第4期51-55,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：黑龙江大学科研项目

摘　　要：本文在介绍采用硅微电子机械加工系统制造硅微型气流传感器的结构和工作原理的基础上。Abstract This paper introduces to a new structure and principle of micro-gas flow sensorusing microelectro-mechanical systems, which using results and characteristics have beenanalysized.

关 键 词：硅微机械加工 气流传感器 多晶硅电阻 特性分析 

分 类 号：TG669[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]