多晶硅电阻

作品数：18被引量：14H指数：2
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一种负反馈式双极结型晶体管工艺实现
《微处理机》2023年第2期9-12,共4页王莉 宋文斌 刘盛意 徐晓萍 刘巾湘 方文远 
辽宁省省级教改项目“紧密对接创新产业链的先进半导体产业学院建设的研究与实践”(辽教通[2022]166号)。
利用负反馈电路对放大器提高增益稳定性、减少非线性失真、拓展通频带宽、改善输入输出电阻的作用,基于实际生产,设计并实现一款带电阻双极结型晶体管产品。在普通晶体管基础上,利用LPCVD工艺淀积多晶硅,并对其进行离子注入,充当负反馈...
关键词：双极结型晶体管 半导体工艺 负反馈晶体管 离子注入 多晶硅电阻 
多晶硅电阻线性度补偿方法研究
《微电子学》2022年第1期33-37,共5页杨洋 雷郎成 高炜祺 胡永菲 刘虹宏 付东兵 
介绍了多晶硅电阻非线性度对信号链整体电路性能的影响,分析了多晶硅电阻非线性产生的原因。提出了衬底电位补偿和组合多晶补偿两种非线性补偿设计方法。采用仿真和测试,对比了未经补偿、新补偿方法的12位D/A转换器的性能。结果表明,经...
关键词：多晶硅电阻 非线性补偿 自热效应 D/A转换器 
基于π型多晶硅电阻网络的片上衰减器被引量：6
《清华大学学报（自然科学版）》2015年第11期1264-1268,共5页郭昕 李孟委 龚著浩 刘泽文 
国家自然科学基金面上项目(91023040)
为了满足衰减器低成本、小尺寸和可重用的发展需求,提出一种基于π型多晶硅电阻网络的宽频带（0-20GHz）片上衰减器。对精确控制多晶硅方块电阻（40-400Ω/sq）进行研究,通过控制硼B离子的掺杂浓度（5×1018-1.4×1020cm-3）和热退火条...
关键词：多晶硅电阻 电阻衰减网络 片上衰减器 
超高压BCD工艺中多晶硅电阻的可靠性分析及实现被引量：1
《电子器件》2015年第3期495-498,共4页包飞军 曹刚 葛艳辉 石艳玲 陈滔 
多晶硅电阻由于其独特的温度特性及电迁移效应,阻值受温度和电流的影响很大,针对应用于超高压BCD工艺中的多晶硅电阻,其可靠性需进行特别分析和设计。通过对0.18μm 700 V BCD工艺中不同掺杂浓度多晶硅电阻的测试与分析,结合多晶硅结构...
关键词：超高压BCD 多晶硅电阻 可靠性 焦耳热效应 电迁移 
基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器（英文）被引量：1
《红外与毫米波学报》2015年第2期134-139,共6页韩建强 李森林 李琰 王小飞 冯日盛 
Supported by National Natural Science Foundation of China(61076110);Supported by Zhejiang Key Discipline of Instrument Science and Technology(JL130101)
报道了一种基于负电阻温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测SiO 2/Si3N4/SixNy微桥谐振器的新型红外探测器.微桥谐振器吸收的红外辐射引起微桥温度升高,激励电阻和检测电桥的阻值减小,使得恒定激励电压作用下激励电阻的静态功率和惠...
关键词：微桥谐振器 红外探测器 多晶硅电阻 负电阻温度系数 
一种双向保护管电路的研制
《集成电路通讯》2014年第1期38-40,44,共4页孙涛 姜楠 丁继洪 于航 周福虎 
保护管电路是一种抗静电保护电路。采用多晶硅磷掺杂工艺，有效抑制了因多晶硅厚度减少引起的多晶硅电阻的调试问题，解决了保护管电路工艺中多晶硅掺杂的技术难点；通过优化退火工艺成功优化了保护二极管的击穿电压，研制出合格的双向...
关键词：多晶硅掺杂 多晶硅电阻 高温退火 击穿电压 
厚多晶硅膜饱和掺杂工艺研究
《电子与封装》2012年第5期28-30,共3页林丽 聂圆燕 吴晓鸫 
文章主要介绍了通过对厚多晶硅膜进行饱和掺杂来制作低阻值多晶电阻的方法。分析了多晶硅掺杂扩散模式,其中A类扩散模式能够得到较低的多晶电阻。要使杂质以A类扩散模式掺入多晶硅中,需要采用炉管扩散的方式进行长时间的掺杂。受杂质固...
关键词：厚多晶硅薄膜 饱和掺杂 低阻 多晶硅电阻 
半导体桥多晶硅工艺优化被引量：1
《微电子学》2010年第4期601-603,共3页胡剑书 
针对多晶硅淀积工艺对半导体桥性能影响严重的问题,开展多晶硅工艺优化实验,获得多晶硅淀积工艺优化条件,多晶硅半导体桥电阻稳定控制在1±0.07 Ω范围内,达到多晶硅桥的应用要求。
关键词：半导体工艺 多晶硅电阻 半导体桥 
多晶硅压力传感器灵敏温度系数自补偿技术研究
《电子工程师》2004年第9期63-65,69,共4页李朝林 
介绍了硅压力传感器的灵敏温度系数补偿原理 ,给出了一种在宽温度范围内采用二次补偿灵敏度温度系数的方法 ,实现了宽范围较高的补偿精度。具体方案是把压阻式惠斯登电桥与温度传感器、可微调多晶硅电阻集成在一个芯片上 ,通过优化多晶...
关键词：多晶硅电阻 压力传感器 灵敏度 温度补偿 温度系数 
氟有利于提高多晶硅电阻的稳定性
《现代材料动态》2002年第10期10-10,共1页杨英惠 
关键词：氟 硼 掺杂 多晶硅 电阻 稳定性 
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