氟有利于提高多晶硅电阻的稳定性  

作　　者：杨英惠 

出　　处：《现代材料动态》2002年第10期10-10,共1页Information of Advanced Materials

关 键 词：氟 硼 掺杂 多晶硅 电阻 稳定性 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]