一种双向保护管电路的研制  

作　　者：孙涛[1] 姜楠[1] 丁继洪 于航[1] 周福虎 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2014年第1期38-40,44,共4页

摘　　要：保护管电路是一种抗静电保护电路。采用多晶硅磷掺杂工艺，有效抑制了因多晶硅厚度减少引起的多晶硅电阻的调试问题，解决了保护管电路工艺中多晶硅掺杂的技术难点；通过优化退火工艺成功优化了保护二极管的击穿电压，研制出合格的双向双路保护管。

关 键 词：多晶硅掺杂 多晶硅电阻 高温退火 击穿电压 

分 类 号：TN949.12[电子电信—信号与信息处理]