微谐振型光纤传感器研究  

作　　者：高金山[1] 王家桢[2] 

机构地区：[1]北方交通大学 [2]清华大学

出　　处：《测试技术学报》1998年第2期8-12,共5页Journal of Test and Measurement Technology

摘　　要：本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理，给出了测量压力参数的原理。

关 键 词：光纤传感器 硅微结构 谐振传感器 微谐振型 

分 类 号：TP212.03[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN253.03[自动化与计算机技术—控制科学与工程]