CZ法生长Ge1—xSix合金体单晶  

作　　者：义仡 

出　　处：《电子材料快报》1998年第6期12-13,共2页

关 键 词：CZ法 硅化锗 合金 单晶 生长 

分 类 号：O78[理学—晶体学]