AlAsN和GaAsN薄膜生长  

作　　者：一凡 

出　　处：《电子材料快报》1998年第3期12-13,共2页

关 键 词：半导体 AlAsN GAASN 薄膜 生长 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]