MEMS热电堆高温测试系统中的MEMS传感器动态性能测试  

The MEMS Sensor Dynamic performance Test of the High Temperature Measurement System Based On MEMS Thermopile Sensor

作　　者：王会强[1] 郝丽娜[1] 郝晓剑[1] 周汉昌[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室信息与通信工程学院,山西太原030051

出　　处：《计量与测试技术》2010年第5期44-46,共3页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：传感器作为整个系统的核心部件,其性能对整个系统的指标起至关重要的作用,尤其是动态特性的优劣直接决定能不能测试到瞬态温度的变化。本文针对MEMS热电堆高温测试系统选定的A2TPMI型热电堆传感器进行静、动态性能标定,目的是为整个高温测试系统提供比较精确的传感器参数,为整个高温测试系统的校准提供理论依据。

关 键 词：MEMS传感器 动态性能测试 测试系统 热电堆 高温 核心部件 瞬态温度 动态特性 

分 类 号：TH811[机械工程—仪器科学与技术]