湿敏元件在恶劣环境下的失效机理分析  

Analysis of humidity sensors failure mechanism under harsh environment

作　　者：张广学[1] 司良有[1] 金建东[1] 刘其中[2] 郑丽[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨150001 [2]中国人民解放军第二炮兵驻哈尔滨军代表室,哈尔滨150036

出　　处：《信息技术》2010年第5期17-19,共3页Information Technology

基　　金：国家863计划资助项目(2006AA042319)

摘　　要：介绍了电容式高分子湿敏元件的基本结构及制造工艺。分析了湿敏元件在恶劣环境下的失效机理及产生的原因,指出了感湿膜中的颗粒状缺陷是造成湿敏元件在恶劣环境下失效的主要原因。提出了在湿敏元件制作、上电极工艺制造技术和湿敏元件筛选检验的改进措施。The basic structure and manufacturing process of the capacitive polymer humidity sensor are introduced.Analysis of the humidity sensor failure mechanism and causes in harsh environments are proposed.This paper points out that the main reason of humidity sensor failure in harsh environment is the granular defects in wet induced membrane.It also puts forward improvements on production,the top electrode manufacturing technology and screening test of humidity sensor.

关 键 词：湿敏元件 失效机理 缺陷 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]