基于镜像法的扫描近场光学显微镜的分辨率分析  

作　　者：肖新元[1,2] 邹文栋[1] 黄长辉[1] 

机构地区：[1]南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室,南昌330063 [2]江西机电职业技术学院信息中心,南昌330013

出　　处：《四川兵工学报》2010年第5期146-148,共3页Journal of Sichuan Ordnance

摘　　要：利用偶极子及镜像偶极子模型推导出探针扫描样品表面时的场分布,给出数值计算的扫描光强分布。引入光强对比强度概念,获得了该对比值随样品小球间距变化的曲线和该对比值随探针与样品距离变化的曲线。结果表明,当探针在一定高度上扫描时,近场光学显微镜系统存在最小分辨率,而该分辨率随着探针与样品的距离增加而降低。

关 键 词：扫描近场光学显微镜 镜像偶极子 分辨率 偶极子干涉 

分 类 号：O432.2[机械工程—光学工程]