检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:孔令英
机构地区:[1]国营天光集成电路厂
出 处:《半导体技术》1999年第1期43-45,共3页Semiconductor Technology
摘 要:论述了大规模集成电路双层布线中起介质和钝化作用的磷硅玻璃(PSG)的淀积条件、厚度以及实际应用中的若干问题。The deposition condition and the thickness of phosphosilicate glass(PSG)used as dielectric and passivating materials in bilayered wiring for very large scale integrated circuits are reviewed in the paper,and some problems emerged in practical applications are also discussed.
分 类 号:TN470.597[电子电信—微电子学与固体电子学]
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