冲击式微位移机构的性能测试与分析  

Measurement and analysis of impacted micro displacement mechanism

作　　者：王文伟[1] 包文清[1] 胡翘[1] 邬晓华[1] 黄文浩[1] 

机构地区：[1]中国科技大学精密机械与精密仪器系

出　　处：《电子显微学报》1999年第1期132-136,共5页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效压电常数，比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果，测试了微位移机构的工作步长和工作速度，以及在斜面上的爬行能力。同时我们通过分析和选择驱动波型参数，更好地控制了微位移机构的行进方向和速度。We have set a system to drive impacted micro displacement mechanism and archieve real time data, acquistion and analysis. Made sure effective pizeo constant, compared the driven effect of saw toothed wave and parabolical wave. Measured the work step and work speed of the micro displacement mechanism and drive capability on the inclined plane. By analyzing and discussing drive wave parameters, we get better work step and work speed of the mechanism.

关 键 词：微位移机构 扫物型波 冲击式 性能测试 SPM 

分 类 号：TH703.8[机械工程—仪器科学与技术] TN16[机械工程—精密仪器及机械]