包文清

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：微位移机构冲击式SPM抛物型扫描隧道显微镜更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《电子显微学报》更多>>
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冲击式微位移机构的性能测试与分析被引量：2
《电子显微学报》1999年第1期132-136,共5页王文伟 包文清 胡翘 邬晓华 黄文浩 
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析，测定了叠片式压电元件的有效压电常数，比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果，测试了微位移机构的工作步长和工作速度，以及在斜面上的爬行能力。同时...
关键词：微位移机构 扫物型波 冲击式 性能测试 SPM 
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