三维一体化超微定位系统的研制  

A study on 3D monolithic ultra micropositioning system

作　　者：胡小唐[1] 禹国强[1] 刘安伟[1] 杨勇[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

出　　处：《电子显微学报》1999年第1期141-144,共4页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金;微米/纳米技术国际预研-微机理研究专项青年基金

摘　　要：本文设计并研制了以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构，并以激光干涉仪微位移检测装置和微机控制系统构成了数字闭环控制的三维一体化超微定位系统。The 3D monolithic ultra micropositioning mechanism on the basis of flexure hinge and piezoelctric acturator is studied in this article, furthermore, the digital closed loop control system combined with laser interferometer and computer control system is developed.

关 键 词：柔性铰链 压电陶瓷 三维一体化 超微定位台 

分 类 号：TH703.65[机械工程—仪器科学与技术]