检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]西安交通大学电子与信息工程学院光电子与物理电子工程系,西安710049
出 处:《真空科学与技术》1999年第1期31-37,共7页Vacuum Science and Technology
摘 要:提出了电子光学偏转像差的李代数理论 ,将这种新型数学工具的应用领域从带电粒子束的聚焦传输系统推广到扫描偏转系统。推导出了磁偏转系统的高斯光学性质及全部三级正则像差 (包括在任意观察平面的正则位置像差和正则动量像差 ) ,所导出的结果与传统的逐次近似像差理论相同 。A new theory based on Lie algebra of the electron optical deflection aberration was proposed.Gaussian optical properties and all the third order canonical aberrations of the magnetic deflection systems,including canonical position and momentum aberrations at any given observation plane,can be derived with the new theory.The calculated results agree well with that obtained using the conventional successive approximation of the aberration.The theory is also of interest in evaluating higher order aberration of scanning probe system.
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