多线切割机砂浆控制系统研究  

Multi-wire saw cutting slurry control system research

作　　者：党兰焕[1] 贺敬良[2] 王学军[2] 吴序堂[3] 

机构地区：[1]西南石油大学,成都610500 [2]北京信息科技大学机电工程学院,北京100192 [3]西安交通大学机械工程学院,西安710049

出　　处：《制造业自动化》2010年第6期68-70,231,共4页Manufacturing Automation

摘　　要：多线切割机是近年来发展非常迅速的一种高效率切割设备,在半导体领域应用广泛,它通过驱动多圈绕制的金属钢线高速旋转,带动喷射在金属钢线上的砂浆对硅材料进行磨削切割,在多线切割机对硅片的切割过程中,砂浆必须保持一定的流量和温度,才能对硅料进行持续高效的切割,砂浆流量的变化会影响切割效率和切割质量,切割过程会产生热量,砂浆在循环过程中必须带走产生的热量,否则热量在砂浆中聚积,对硅片切割会产生不利甚至断线。研究了多线切割机砂浆控制系统,对硅片切割中砂浆流量控制方法进行研究,通过实验验证通过该砂浆控制系统能得到的稳定的流量,砂浆流量波动很小,很好地提高了硅片切割质量及切割成片率,工艺线使用效果良好。

关 键 词：多线切割机 砂浆流量 PID控制 

分 类 号：TN305.5[电子电信—物理电子学]