SUSS Micro Tec推出面向LED市场的专用光刻系统  

出　　处：《电子工业专用设备》2010年第6期66-67,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：用于生产高亮度LED的全自动光刻机MA100e Gen2问世 全球知名的半导体行业及相关设备和工艺解决方案供应商SUSSMicroTec日前推出新一代MA100e光刻机，专用于高亮度发光二极管（HB—LEDs）生产。MA100e基于SUSS Micro Tec光刻机经典设计，具有最大至100mm（4英寸）的载片能力，每小时产量可达145片，业界领先。

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分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]