光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展  

作　　者：冯涛[1] 

机构地区：[1]青海民族大学

出　　处：《今日科苑》2010年第14期27-27,共1页Modern Science

摘　　要：本文介绍了光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术的进展,介绍了离子源技术以及离子束辅助沉积技术对薄膜特性的影响。

关 键 词：光学薄膜 离子束辅助沉积 薄膜特性 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]