激光光热偏转法测量固体材料的热扩散率  

Measurements of Thermal Diffusivity of Solid Materials by Laser Photothermal Deflection Technique

作　　者：王聪和[1] 谭家麟 施柏煊[2] 

机构地区：[1]香港理工大学应用物理系及材料研究中心 [2]浙江大学现代光仪国家重点实验室

出　　处：《激光与红外》1999年第1期30-33,共4页Laser & Infrared

基　　金：国家自然科学基金;浙大曹光彪基金;香港理工大学研究基金

摘　　要：介绍近几年来发展起来的激光光热偏转法测量固体和固体薄膜热扩散率的基本原理，并提出优化设计的测量装置，利用此装置测量了康宁玻璃基上硼硅合金薄膜的低热扩散率。The measurement principle of thermal diffusivity of solid and solid films by laser photothermal deflection technique developed over the years, and the details of optimizing the measurement set up are described. Low diffusivity of silicon boron(Si B) alloy thin film on Corrning 7059 glass substrate is determined.

关 键 词：光热偏转法 测量 热扩散率 固体材料 

分 类 号：TN240.6[电子电信—物理电子学] O48[理学—固体物理]