王聪和

作品数：4被引量：13H指数：3
导出分析报告
供职机构：香港理工大学更多>>
发文主题：残余应力微机械热扩散率杨氏模量基底更多>>
发文领域：理学一般工业技术机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《机械强度》《功能材料与器件学报》《激光与红外》《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划香港理工大学研究基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析
《机械强度》2003年第4期395-400,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 
国家重点基础研究发展规划 (973)项目"集成微光机电系统"(G1 9990 331 0 3);香港理工大学智能材料中心 (1 .1 .37.A31 0 )资助项目~~
用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能。对符合弹性验则的微桥进行测试 ,在考虑衬底变形的基础上 ,利用最小二乘法对其载荷—挠度曲线进行拟合 ,得到低应力lowpressurechemicalvapourdeposited (LPCVD)氮化硅的弹性模量为 3 14...
关键词：微电子机械系统 低压化学气相沉积 氮化硅 弹性模量 残余应力 弯曲强度 微机械悬桥法 误差分析 
微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能被引量：4
《功能材料与器件学报》2003年第2期133-138,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 陈刚 
国家973重点基础研究发展规划项目(G1999033103);香港理工大学智能材料中心"MechanicalpropertiesofMicro-cantileversandMicroelectromechanicalPiezoelectricAcousticMicrophones"项目(1.11.37.A310)
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对...
关键词：氮化硅薄膜 力学性能 微机械悬桥 纳米压入仪 杨氏模量 残余应力 弯曲强度 
横向激光光热偏转相位法测量金刚石薄片的热扩散率被引量：7
《光子学报》2000年第5期474-477,共4页施柏煊 殷浩 王聪和 黄元华 谭家麟 Lo K L 
国家自然科学基金!( 697780 1 8);香港理工大学科研基金!( G- 5599)资助项目
本文介绍横向激光光热偏转装置的优化设计及其利用相位信息测量 CVD金刚石薄片的热扩散率 。
关键词：热扩散率 光热偏转 相位法 金刚石薄片 
激光光热偏转法测量固体材料的热扩散率被引量：3
《激光与红外》1999年第1期30-33,共4页王聪和 谭家麟 施柏煊 
国家自然科学基金;浙大曹光彪基金;香港理工大学研究基金
介绍近几年来发展起来的激光光热偏转法测量固体和固体薄膜热扩散率的基本原理，并提出优化设计的测量装置，利用此装置测量了康宁玻璃基上硼硅合金薄膜的低热扩散率。
关键词：光热偏转法 测量 热扩散率 固体材料 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部