宗登刚

作品数：3被引量：14H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：残余应力微机械杨氏模量微电子机械系统加速度传感器更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《机械强度》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析
《机械强度》2003年第4期395-400,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 
国家重点基础研究发展规划 (973)项目"集成微光机电系统"(G1 9990 331 0 3);香港理工大学智能材料中心 (1 .1 .37.A31 0 )资助项目~~
用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能。对符合弹性验则的微桥进行测试 ,在考虑衬底变形的基础上 ,利用最小二乘法对其载荷—挠度曲线进行拟合 ,得到低应力lowpressurechemicalvapourdeposited (LPCVD)氮化硅的弹性模量为 3 14...
关键词：微电子机械系统 低压化学气相沉积 氮化硅 弹性模量 残余应力 弯曲强度 微机械悬桥法 误差分析 
微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能被引量：4
《功能材料与器件学报》2003年第2期133-138,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 陈刚 
国家973重点基础研究发展规划项目(G1999033103);香港理工大学智能材料中心"MechanicalpropertiesofMicro-cantileversandMicroelectromechanicalPiezoelectricAcousticMicrophones"项目(1.11.37.A310)
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对...
关键词：氮化硅薄膜 力学性能 微机械悬桥 纳米压入仪 杨氏模量 残余应力 弯曲强度 
高量程加速度计的力学性能分析被引量：10
《机械强度》2002年第4期515-517,共3页王钻开 宗登刚 陆德仁 
国家 973资助项目 (G1 9990 331 0 3)资助~~
提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的...
关键词：高量程加速度计 静态测试 加速度传感器 微电子机械系统 灵敏度 频率 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部