王钻开

作品数：5被引量：29H指数：4
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：微电子机械系统微机械固有频率微机械加速度传感器压敏电阻更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《机械强度》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金更多>>
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压阻式高量程微加速度计的冲击校准被引量：7
《传感器技术》2003年第11期78-80,共3页郇勇 张泰华 杨业敏 王钻开 陆德仁 
国家自然科学基金资助项目(10102021)和(10172086);中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX2-SW-L2);973项目(G1999033103)的共同资助
采用体硅微机械加工技术和扩散技术,制作压阻式高量程微加速度计,设计量程为50000gn。芯片材料为单晶硅,采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度,使用Hopkinson杆在约40000gn的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情...
关键词：微电子机械系统 微加速度计 Hopkinmn杆 校准 扩散技术 芯片结构 
微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析
《机械强度》2003年第4期395-400,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 
国家重点基础研究发展规划 (973)项目"集成微光机电系统"(G1 9990 331 0 3);香港理工大学智能材料中心 (1 .1 .37.A31 0 )资助项目~~
用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能。对符合弹性验则的微桥进行测试 ,在考虑衬底变形的基础上 ,利用最小二乘法对其载荷—挠度曲线进行拟合 ,得到低应力lowpressurechemicalvapourdeposited (LPCVD)氮化硅的弹性模量为 3 14...
关键词：微电子机械系统 低压化学气相沉积 氮化硅 弹性模量 残余应力 弯曲强度 微机械悬桥法 误差分析 
微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能被引量：4
《功能材料与器件学报》2003年第2期133-138,共6页宗登刚 王钻开 陆德仁 王聪和 陈刚 
国家973重点基础研究发展规划项目(G1999033103);香港理工大学智能材料中心"MechanicalpropertiesofMicro-cantileversandMicroelectromechanicalPiezoelectricAcousticMicrophones"项目(1.11.37.A310)
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力LPCVD氮化硅薄膜的力学特性。通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式。对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对...
关键词：氮化硅薄膜 力学性能 微机械悬桥 纳米压入仪 杨氏模量 残余应力 弯曲强度 
传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响被引量：8
《功能材料与器件学报》2003年第2期161-164,共4页王钻开 陆德仁 
国家基础研究973微光机电系统研究(G1999033101;G1999033103)
研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰。采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器,进...
关键词：硅微机械 固有频率 阻尼 加速度传感器 冲击响应 
高量程加速度计的力学性能分析被引量：10
《机械强度》2002年第4期515-517,共3页王钻开 宗登刚 陆德仁 
国家 973资助项目 (G1 9990 331 0 3)资助~~
提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的...
关键词：高量程加速度计 静态测试 加速度传感器 微电子机械系统 灵敏度 频率 
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