硅谐振压力微传感器开环自动测试技术  

Autotesting Technologies in Open-loop Test to the Silicon Resonant Pressure Microsensor

作　　者：周浩敏[1] 邢维巍[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学自动控制系302教研室,100083

出　　处：《测控技术》1999年第3期12-14,共3页Measurement & Control Technology

摘　　要：鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是“微米”级，并且所要处理的信号最大仅为微伏量级，信噪比极低，因此在微传感器的开环测试中需要采取新的技术和测试方法。本文主要讨论了硅谐振压力微传感器开环测试中的自动测试以及同频干扰问题。Because dimensions of microsensor sensing elements are ndcros only, the most high level of the processed signal is ndcrovolts and signal-to-noise is very low the new technologies and testing methods have to be applied in the open-loop testing. The problems of autotesting and common frequency disturbance in the testing are mainly presented.

关 键 词：硅谐振 微传感器 自动测试 传感器 开环测试 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]