UV Assisted Thermal Curing： Overview and Fundamental Understanding through Spin-on and PECVD Processes  

作　　者：Azlz Zenasm Vincent Jousseaume Olivier Gourhant Laurent Favennec Patrick Maury 

机构地区：[1]CEA-LETI-MINATEC, 17 rue des Martyrs, Grenoble 38054, France [2]STMieroelectronics, 850 rue Jean Monnet, Crolles 38926, France

出　　处：《材料科学与工程（中英文版）》2010年第7期69-73,共5页Journal of Materials Science and Engineering

关 键 词：紫外线辐射 热固化 CVD工艺 超低介电常数 固化反应动力学 综述 PE 自旋 

分 类 号：TQ433.437[化学工程] TS103.823[轻工技术与工程—纺织工程]