微结构表面形貌的测量  

Measurement of Microstructures Topography

作　　者：周明宝[1] 林大键[1] 郭履容[2] 郭永康 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 [2]四川联合大学物理系

出　　处：《光学精密工程》1999年第3期7-13,共7页Optics and Precision Engineering

摘　　要：总结了现有各种微结构表面形貌测量方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。The existing various methods used to measure the surface topography of micro structures are described. The principle, property and present situation of these methods are analyzed. Comparison for superiority, the existing problems and the applied range of these methods are given.

关 键 词：微结构 表面表貌 测量 衍射光学元件 微细加工 

分 类 号：TH741.3[机械工程—光学工程] TG84[机械工程—仪器科学与技术]