林大键

作品数：31被引量：101H指数：5
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：衍射光学元件光刻光学系统表面形貌I更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》《中国激光》更多>>
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红外太阳望远镜封窗玻璃的变形分析被引量：1
《光电工程》2002年第5期33-36,共4页程刚 蒋世磊 魏全忠 史清白 林大键 雷有生 古斌 
国家973基础科学研究资助项目。
真空望远镜封窗玻璃主要受到大气压力和重力的影响,由于要求得到高空间分辨力的太阳像,所以对封窗玻璃的变形要求很高。用有限元法对封窗玻璃进行力学分析计算,得出不同角度观测时的应力及变形数据,封窗玻璃在各个位置观测时受到的应力...
关键词：红外太阳望远镜 变形分析 有限元分析 封窗玻璃 
用白光相移干涉增大表面形貌可测范围的研究被引量：3
《光学学报》2000年第8期1065-1071,共7页周明宝 林大键 郭履容 郭永康 
分析研究了白光相移干涉应用于表面形貌测量时表面形貌与干涉图像之间的关系 ,比较了两种不同光谱分布的光束的白光相移干涉特性。依据白光相移干涉中与干涉光强有关的一些特定参量与表面形貌之间的一一对应关系 ,提出了一种不直接测量...
关键词：相移干涉 表面形貌 测量 白光 干涉法 
双光路双波长相移干涉显微法测量衍射光学元件形貌
《光学学报》2000年第6期843-846,共4页周明宝 林大键 白临波 
衍射光学元件 (DOE)表面形貌的测量需要解决因表面结构深度较大和表面不连续给测量带来的困难。本文将双波长测量法的思想推广应用到不连续深结构表面的测量 ,并提出了一种新型数据处理方法 ,有效地克服了这些困难。理论分析和测量结果...
关键词：衍射光学元件 三维表面形貌 干涉显微镜 
通过数据处理实现微细台阶面的测量
《中国激光》2000年第3期219-223,共5页周明宝 林大键 郭履容 郭永康 
分析了微细台阶面表面形貌测量可能会出现平滑或失真现象的根源 ,提出一种基于测量数据分析和数据处理的解决方法。此方法已成功地应用于自行研制的衍射光学元件三维表面形貌测量系统中。
关键词：微结构 表面形貌 数据处理 相移干涉 测量 
大视场紫外高均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算被引量：3
《微细加工技术》1999年第4期24-27,共4页林大键 周崇喜 尹燕 
叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内，照明光能分布不...
关键词：光学系统 紫外光 均匀照明 光能分布 曝光 光刻 
基于白光的双波长相移干涉的误差分析被引量：3
《光学精密工程》1999年第5期106-113,共8页周明宝 林大键 郭履容 郭永康 
概略介绍了基于白光的双波长相移干涉表面形貌测量系统的原理，具体分析了影响测量精度的各种误差因素，给出了相应的误差计算公式和计算结果，并用模拟测量结果和实际测量结果进行了验证和比较。
关键词：相移干涉 表面形貌 测量 测量精度 白光 
微结构表面形貌的测量被引量：19
《光学精密工程》1999年第3期7-13,共7页周明宝 林大键 郭履容 郭永康 
总结了现有各种微结构表面形貌测量方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。
关键词：微结构 表面表貌 测量 衍射光学元件 微细加工 
衍射光学二维激光扫描器设计制作研究被引量：2
《光学学报》1999年第2期254-260,共7页周崇喜 杜春雷 郭永康 邱传凯 周礼书 林大键 
提出、设计并采用激光直写和反应离子刻蚀技术制作出一种新型的衍射光学纯相位型二维激光扫描器，并进行了系统参数的实验测试，其扫描角度为２５°×２５°，衍射效率为４１％。
关键词：衍射光学 二元光学元件 激光扫描器 设计 
衍射光学元件表面形貌测量方法研究被引量：1
《光电工程》1998年第A12期29-33,共5页周明宝 林大键 白临波 
提出了一种基于双光路双波长相移干涉显微原理的新型 DOE三维表面形貌测量方法 ,并建立了相应的测量系统。理论分析和测量结果表明 ,测量系统纵向分辨率为 0 .5 nm,横向分辨率约为 0 .5 μm(NA=0 .4) ,在整个纵向测量范围内重复测量精...
关键词：衍射光学元件 面形测量 三维测量 相移干涉术 
光学系统设计中全局优化方法的实现被引量：1
《强激光与粒子束》1998年第4期587-591,共5页李良钰 吴健 林大键 刘盛纲 
电子科技大学基金
把变尺度法用于光学优化设计中，同时使用了“逃逸函数”技术，从而实现了光学系统设计的全局优化。在使用逃逸函数时，两个因子Ｈ和Ｗ的确定是能否“逃逸”优化“陷井”的关键。用这种技术借助于Ｃ语言开发的程序成功地设计了一典型的...
关键词：变尺度法 优化 逃逸函数 光学系统 全局优化 
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