三维表面形貌

作品数：54被引量：218H指数：8
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基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术
《中国科学：技术科学》2024年第12期2221-2254,共34页耿俊媛 张号 孟祥和 谢晖 赵新 
国家自然科学基金项目(批准号:62027812,62333012,61925304,62403257)资助。
三维微纳电子器件因其结构紧凑、功能密度高等特点,逐渐成为主流的半导体元件形式,实现三维微纳表面多参数量化分析是控制三维器件功能质量的关键.原子力显微镜具备高分辨率力反馈成像能力,是实现微纳表面形貌、电学和力学特性同步检测...
关键词：三维微纳电子器件 原子力显微镜 三维表面形貌 三维表面电势 三维表面纳米力学特性 
基于白光干涉的三维表面形貌拼接方法研究
《光电技术应用》2024年第2期44-50,共7页任瑛 黄育争 魏长胜 申展 刘颖刚 
白光干涉测量技术由于具有非接触、无损伤、量程大、精度高和灵敏度高等特点,被应用于微纳米结构三维表面形貌测量中,但存在受限于显微物镜视场限制测量范围问题。提出了一种可以有效提高测量范围的三维表面形貌拼接方法。通过对多次采...
关键词：白光干涉仪 表面形貌 拼接方式 图像划分 
不同激光蚀刻技术对陶瓷与复合树脂材料粘接强度的影响研究被引量：2
《化学与粘合》2022年第6期491-495,521,共6页裴挫萍 
分析了不同激光蚀刻技术对陶瓷与复合树脂材料粘接强度的影响。通过扫描电镜观测瓷片表面微观形貌变化,利用光干涉三维表面形貌测量系统测量瓷片表面粗糙度,应用万能力学试验机测试瓷片与树脂柱粘接强度。相较于control组与HF组,NY组与E...
关键词：激光蚀刻技术 复合树脂材料 粘接强度 三维表面形貌测量系统 
CMP加工后芯片三维形貌表征参数体系被引量：2
《摩擦学学报》2020年第6期716-725,共10页黄静飞 任志英 罗德海 路纯红 
国家自然科学基金项目(51805086/51975123);福建省自然科学基金项目(2019J01210);福建省卫生教育联合攻关计划项目(2019-WJ-01)资助。
针对当前化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)后的芯片表面形貌的表征常常只停留在研究二维轮廓特征,无法完整地表达整个三维表面形貌信息,仅使用单一的评定指标来表征其表面的不平整程度等问题,建立了1个科学、全面的芯...
关键词：化学机械抛光 三维表面形貌 表征参数 ISO 25178-2 分形维数 
基于三维表面形貌测定法的水切割木竹材工艺参数优化被引量：7
《林产工业》2020年第3期54-57,共4页蒋瞻 黄俣劼 谢文博 王正 方九金 
2018年江苏省普通高校学术学位研究生科研创新计划项目(KYCX18_0963);全国林业科学成果国家级推广计划[2015]55号。
为优化木竹材超高压水射流切割加工工艺参数,以红橡木和竹地板为对象,采用正交试验法,研究磨料流速、切割压力、进给速度、靶距对水射流加工试件表面粗糙度的影响,探索优化工艺参数。利用扫描探针式三维表面形貌测定法测量试件切割面的...
关键词：木材 竹材 超高压水射流 表面粗糙度 三维表面形貌测定法 工艺参数 
基于轮廓法的金刚石线锯整周三维表面形貌测量和评价被引量：5
《机械工程学报》2019年第20期107-115,共9页李振宇 崔长彩 黄辉 徐西鹏 
国家自然科学基金“促进海峡两岸科技合作联合基金”资助项目(U1805251)
针对毫米级尺度线径和微米级尺度磨粒的金刚石线锯整周三维表面形貌测量难以实现与定量评价问题,提出一种基于轮廓法的圆周扫描表面磨粒形貌测量与分析方法。通过显微测量系统沿周向扫描采集金刚石线锯对应的边缘轮廓图像序列,经图像处...
关键词：金刚石线锯 表面形貌 轮廓法 测量评价 
一种岩石结构面三维表面形貌的测定方法
《工程技术研究》2019年第18期17-18,89,共3页蒋庆仁 胡寒露 杨秀涛 
岩石结构面表面形貌与结构面抗剪强度有密切联系。文章介绍了一种基于激光扫描试验的岩石结构面三维表面形貌数据测定方法。通过激光位移传感器及电移台组成的系统对结构面进行精确扫描,获得的大量数据通过C语言编程批量处理。处理后的...
关键词：岩石结构面 表面形貌 激光扫描 C语言 
高速铣削参数对超高强度钢表面完整性影响研究被引量：10
《兵器材料科学与工程》2018年第6期39-43,共5页杨振朝 薛阳 袁启龙 徐瑾 李言 
国家自然科学基金(51775431;51475367);陕西省科技统筹创新工程计划(2014SZS10-Z01)
为有效控制超高强度钢高速铣削加工过程中的表面完整性,利用涂层硬质合金刀片对16Co14Ni10Cr2Mo超高强度钢进行高速铣削试验。研究铣削速度、每齿进给量和铣削深度对三维表面形貌、三维表面粗糙度和表面残余应力的影响规律。通过3D共聚...
关键词：超高强度钢 三维表面形貌 三维表面粗糙度 表面残余应力 铣削参数 
超声振动辅助铣削加工预测建模与实验验证被引量：3
《电加工与模具》2018年第5期57-60,共4页刘宪福 张建华 陶国灿 白丽娟 
国家自然科学基金资助项目(51475275)
为了实现对进给方向超声振动辅助铣削加工表面形貌的准确预测,建立了超声振动辅助铣削加工过程数学物理预测模型。为了验证该预测模型对超声振动辅助铣削加工三维表面预测结果的准确性,利用MATLAB软件以此模型为基础进行了进给方向的超...
关键词：超声振动辅助铣削 三维表面形貌 预测模型 仿真分析 
岩石节理三维表面形貌精细描述与粗糙度定量确定方法的研究被引量：12
《岩石力学与工程学报》2017年第A02期4066-4074,共9页李化 张正虎 邓建辉 魏薇 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2016YFC0600702)~~
为了实现对岩石节理粗糙度进行定量描述,分析目前已有研究方法和理论存在的局限性,参考有关岩石节理剪切机制的研究后,提出12个反映节理表面剪切特性与各向异性的三维粗糙度特征参数。并且,基于三维高精度激光扫描与GIS技术,以似斑状花...
关键词：岩石力学 岩石节理 三维粗糙度系数 三维激光扫描 GIS 
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