金刚石线锯

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细径金刚石线锯锯缝内切削液流场仿真研究
《金刚石与磨料磨具工程》2024年第6期781-788,共8页陈佳虎 葛培琪 
国家自然科学基金资助项目(52175418);山东省重大科技创新工程(2022CXGC010201)。
随着工件大尺寸化及锯丝细线化,锯切加工过程中的锯缝越来越深且窄,切削液在锯切过程中无法充分发挥作用,对切片质量影响较大。基于计算流体力学(computational fluid dynamics,CFD)数值模拟,通过建立CFD锯缝模型,对金刚石线锯锯切加工...
关键词：金刚石线锯 计算流体力学 小尺寸锯缝 切削液流场 
无尘环境下精密光机部件的微小振动切割方法研究
《集成电路应用》2024年第11期46-48,共3页胡书平 王霈显 高原 
阐述对某精密光机部件支腿进行切割操作需在千级净化车间,由于光机件对振动非常敏感,先在模拟零件上用各型锯切割,对振动进行监测和对比。根据进度和成本综合评估,最终采用人工手持金刚石线锯进行切割,并实施环境隔离、污染监测和静电...
关键词：集成电路制造 金刚石线锯 振动数据RMS 无尘环境 方差分析 
光伏单晶硅细线超薄切片加工研究进展
《太阳能学报》2024年第11期183-193,共11页葛梦然 赵桂丽 郑金涛 赵玉康 邢旭 葛培琪 
国家自然科学基金(52005301,52175418);山东省重点研发计划(2022CXGC010201);山东省高校青创团队计划(2022KJ208)。
分析光伏单晶硅切片加工的原理和现状,金刚石线锯母线直径已降低至37μm,G12半片光伏单晶硅片的切片厚度已减小到110μm。阐述光伏硅晶体高出片率切片加工的主要技术途径是锯切硅片厚度减薄和金刚石线锯直径减小。分别讨论锯切硅片表面...
关键词：光伏 锯切 单晶硅 金刚石线锯 切片厚度 锯缝损耗 
无润滑条件下工艺参数对Al6063金刚石线切表面粗糙度影响
《制造技术与机床》2024年第8期138-142,共5页高永华 吕涵 杜倡 武胜 李士鹏 秦旭达 
金刚石线锯因具有超高的硬度和耐磨性,常用于切削各种硬质材料,因加工过程摩擦较为剧烈,通常加冷却润滑介质,但一些特殊需求下,铝合金需要线切时无法施加冷却液。基于单因素试验法,在无润滑条件下进行了Al6063材料的线锯试验,分析了加...
关键词：金刚石线锯 工艺参数 表面粗糙度 白光干涉仪 
钕铁硼磁材多线切割机的设计与应用
《机械研究与应用》2024年第3期101-104,共4页于亚鹏 宋政肽 孙承政 解培玉 宫云庆 于文文 
文章根据3C消费电子行业对钕铁硼磁材的加工需求,设计制造了一台可以将钕铁硼磁材加工成片厚低于1 mm薄片的多线切割机。首先介绍多线切割机加工钕铁硼磁材的精度要求和多线切割机的整体设计方案,然后对其关键部件(包括进刀组件、主辊...
关键词：钕铁硼 磁性材料 多线切割机 金刚石线锯 
超声空化辅助金刚石线锯切割单晶硅机理分析与试验验证
《机械工程学报》2024年第9期114-126,共13页王艳 何顺 陈奕璋 姜晨 钱兆峰 陈浩毅 
上海市自然科学基金面上资助项目(23ZR1444700)。
金刚石线锯切割单晶硅片作为半导体制造技术中的关键一步,切片质量直接影响着芯片制造的质量和成本。提出了一种超声空化辅助金刚石线锯切割单晶硅片的方法,利用空化气泡溃灭产生的微射流和水锤压力,达到加速切屑的排出,减小锯切力,改...
关键词：金刚石线锯 超声空化 SPH-FEM耦合方法 水锤压力 
超声辅助金刚石线锯复合切割技术的研究进展
《制造技术与机床》2024年第5期107-113,共7页李洪浩 高玉飞 张乃军 
国家自然科学基金(51875322);山东省自然科学基金(ZR2023ME145);国家重点研发计划课题(2022YFB3401901,2022YFB3401902)。
硬脆材料与复合材料等高性能材料在多个领域广泛应用,其切割主要采用金刚石线锯加工技术。近年来,对切割加工质量和效率的要求不断提高,超声辅助金刚石线锯复合切割技术逐渐发展起来。超声辅助金刚石线锯复合切割技术提高了锯切效率和...
关键词：金刚石线锯 超声振动 加工质量 复合加工 
金刚石线锯电火花复合切割硬脆半导体的研究进展
《制造技术与机床》2024年第3期69-75,共7页张乃军 高玉飞 郭志田 
国家自然科学基金(51875322);山东省自然科学基金项目(ZR2023ME145)。
太阳能光伏产业和电子工业的迅速发展对使用的晶体硅等硬脆半导体材料的切割提出了更高的要求。为了进一步提高硬脆半导体的切割加工质量和生产效率、降低生产成本,金刚石线锯电火花复合切割技术开始被应用到硬脆半导体的切割中。文章...
关键词：金刚石线锯电火花复合切割 硬脆半导体 加工机理 
金刚石线锯成形切割工程陶瓷圆弧试验研究
《机械设计与制造》2024年第3期138-144,共7页王亚帅 王燕青 杨胜强 
针对工程陶瓷圆形零件难以成形加工的问题,提出了一种金刚石线锯成形加工工程陶瓷圆弧件的新方法,以圆弧面的径向跳动为衡量圆度指标,采用单因素实验法分析了线速度、转台转速和张紧力等工艺参数对圆弧件形状精度圆度、加工效率、线弓...
关键词：金刚石线切割 硬脆材料 圆弧件 成形加工 圆度 单因素试验法 
晶体各向异性及工艺参数对蓝宝石切片加工面形偏差的影响被引量：1
《金刚石与磨料磨具工程》2023年第5期612-620,共9页王超 葛培琪 贺基凯 王新辉 
国家自然科学基金(52175418);山东省重大科技创新工程(2022CXGC010201)。
在多线锯切片加工中,由于蓝宝石晶体材料的各向异性,不同加工位置处的力学性能不同,导致金刚石线锯在垂直进给方向上产生偏移,从而造成切片加工晶片面形偏差。为深入研究晶体各向异性对切片加工晶片面形偏差的影响机制,通过分析蓝宝石...
关键词：蓝宝石 金刚石线锯 晶体各向异性 面形偏差 工艺参数 
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