上海微系统所迈开SOI技术产业化大步  

作　　者：沪生 

出　　处：《中国集成电路》2010年第9期72-76,共5页China lntegrated Circuit

摘　　要：SOI是＂Silicon-on-insulator＂的简称,中文译为＂绝缘体上的硅＂。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,无论在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面，都具有重要应用。上世纪90年代末，IBM大规模开展SOI技术的民用化，SOI被广泛用于超速计算机服务器中，

关 键 词：SOI技术 技术产业化 微系统 低功耗电路 上海 微机械传感器 硅基材料 光电集成 

分 类 号：F426.63[经济管理—产业经济]