高导热金刚石膜表面金属化研究  

作　　者：胥馨[1] 佟悦[1] 刘杨[1] 

机构地区：[1]空军航空大学飞行训练基地基础部物理教研室

出　　处：《科技信息》2010年第16期I0094-I0095,I0097,共3页Science & Technology Information

摘　　要：本论文采用直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜热导率,制备出了高热导的金刚石膜,满足金刚石膜在散热器件方面的应用;采用Ag72Cu28和钛粉作为钎料,在低真空环境下通过热扩散原理建立了大面积金刚石膜表面改性工艺,满足金刚石膜工具规模化生产要求。

关 键 词：金刚石膜 热导率 表面改性 

分 类 号：TQ153.3[化学工程—电化学工业]