微结构气体传感器的研究现状及展望  

作　　者：徐涛[1] 武国英[1] 

机构地区：[1]北京大学

出　　处：《电子科技导报》1999年第6期23-28,共6页

摘　　要：对微结构气体传感器现有的各种结构形式和研究现状进行了综述，并对它的发展趋势进行了展望。

关 键 词：气体传感器 微型传感器 微机械结构 传感器 

分 类 号：TP212.03[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]