我国攻关半导体稀土抛光液  

出　　处：《现代材料动态》2010年第10期18-18,共1页Information of Advanced Materials

摘　　要：从包头市科技局了解到，包头稀土研究院日前与包头天骄清美稀土抛光粉有限公司签订了氧化铈新型半导体抛光液科研项目合作开发协议，标志着我国在化学机械抛光技术研发领域迈出关键步伐。

关 键 词：稀土抛光粉 抛光液 半导体 包头稀土研究院 合作开发 科研项目 抛光技术 包头市 

分 类 号：TG739[金属学及工艺—刀具与模具]