硅微机械陀螺的接口检测技术  

Detection Technology for Micromachined Gyroscopes

作　　者：李万玉[1,2,3] 阮爱武[1,2,3] 罗晋生 冯培德 

机构地区：[1]航空工业总公司第618研究所 [2]西北工业大学自动控制系 [3]西安交通大学电子与信息学院

出　　处：《传感器技术》1999年第3期40-42,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：研究了微陀螺的电容变化率为１０－７～１０－８时的微弱输出信号的检测技术，这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。The sensing technology for weak output signals of detection circuitry of gyros whose capacitance change ratio ranges from 10-710-8 is surveyed, which is the difficult point for micromachined devices. On the basis of integrator of basic readout approch, improved sensing strategies with correlated double sampling to supress low frequency noises and offset, and canceling charge injection induced by switches.

关 键 词：微机械陀螺 寄生电容 积分电路 硅 接口检测技术 

分 类 号：V241.550.6[航空宇航科学与技术—飞行器设计]