高频窄带声表面波滤波器  

HighfrequencyNarrowbandSAWFilter

作　　者：李勇[1] 谢中华[1] 周宗闽[1] 章德[2] 翟凡[2] 王蓉 

机构地区：[1]南京电子器件研究所 [2]南京大学声学研究所

出　　处：《固体电子学研究与进展》1999年第2期216-220,共5页Research & Progress of SSE

摘　　要：为满足温漂要求，同时避免驻波效应，利用剥离工艺在石英基片上制作了中心频率为１１２８ＭＨｚ，３ｄＢ带宽为２．８ＭＨｚ，插入损耗＞－１２ｄＢ，带外抑制＞４０ｄＢ的高频窄带声表面波滤波器。Thedesignandfabricationofahighfrequencynarrowbandsurfaceacousticwavefilter(SAWF)withcenterfrequency1128MHz,3dBbandwidth2.8MHz,insertionloss>-12dBandoutofbandrejection>40dBaredescribed.Inordertomeetthetemperaturestabilityrequirement,thefilterisfabricatedontheST34cutquartz,alsotoavoidtheinfluenceofstandingwave,theliftofftechniqueisused.

关 键 词：声表面波滤波器 剥离 准谐波 声表面波器件 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统] TN713