声表面波器件

作品数：329被引量：417H指数：10
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柔性氧化锌声表面波器件的研究
《电子元件与材料》2025年第2期135-141,共7页刘兴鹏 王明宣 张永杰 杨俊锋 邓卫平 
广西自然科学基金(2023GXNSFBA026216);广西电子信息材料构效关系重点实验室自主研究基金(231015-Z)。
为了研究基于柔性衬底的Zno压电薄膜的声表面波谐振器,选择以氟晶云母为衬底,通过磁控溅射技术在柔性云母衬底上优化了ZnO压电薄膜的生长条件,确定了最佳工艺参数:氩氧气体流量比为300∶20,工艺气压为1.0Pa,衬底加热温度为300℃,在该参...
关键词：磁控溅射 云母 ZNO SrTiO_(3) 声表面波谐振器 
声表面波器件在大功率作用下的热效应
《应用声学》2024年第6期1381-1388,共8页黄庆云 黄健 万志坚 陈知泰 韩建伟 
深圳职业技术大学青年创新基金项目(6023310020K)。
声表面波器件在高电场强度和高频驱动下易产生热量,这种热量会显著影响器件的寿命、耐用性和测量精度,甚至造成器件本身的裂片与失效等问题。目前只有少数的研究关注了器件热效应。该文在前人研究的基础上,旨在揭示器件热效应来源,建立...
关键词：声表面波 有限元仿真 损耗 热效应 
一种抑制声表面波器件横向能量泄露结构及其应用
《压电与声光》2024年第5期680-684,共5页李世国 褚梦群 胡丞稷 郑泽渔 杜雪松 董加和 陆川 李桦林 陈彦光 汪红兵 马晋毅 肖强 
采用42°YX-LiTaO_(3)基底的声表面波(SAW)滤波器、多工器易产生横向能量泄露效应,这种效应的产生会增大SAW器件的插损、缩减有效带宽、降低矩形度等。为了抑制声表面波的横向能量泄露,提出了一种假指加宽结构,并通过有限元仿真验证了...
关键词：声表面波器件 42°YX-LiTaO_(3) 横向能量泄露 假指加宽 
基于氧化锌薄膜声表面波器件的细胞富集方法
《声学学报》2024年第3期398-402,共5页李英银 周伟 彭本贤 张春秋 全浩 孟龙 
国家自然科学基金项目(12227809)资助。
针对常见的铌酸锂等压电单晶在高温易碎裂且不能弯曲等问题,提出了一种区别于传统压电单晶富集细胞的方法。通过磁控溅射技术在硅衬底上制备了厚度为3.83μm的氧化锌薄膜,并用扫描电子显微镜与X射线衍射表征了薄膜性能,在薄膜表面制备...
关键词：声表面波 声镊 声流 氧化锌 压电基底 细胞富集 
基于PCB压合工艺的声表面波滤波器新型封装研究
《电子元器件与信息技术》2024年第2期37-40,共4页张虹 赵志娟 刘永红 雷雅雯 雷顺京 
基于印刷电路板(PCB)传统压合工艺技术,采用PCB作为封装外壳,本文研究开发了一种新型经济型声表面波滤波器表面贴装贴片式(SMD)封装。新型封装由底板、盖板两部分组成,采用PCB加工过程中的传统压合工艺将底板和盖板压合成一个整体,整体...
关键词：声表面波器件 PCB压合 新型封装 
耐高功率声表面波器件多层复合金属薄膜电极的分析
《电子技术（上海）》2023年第11期4-5,共2页赵志娟 刘永红 雷雅雯 张虹 雷顺京 
阐述一种采用多层复合金属薄膜电极的方法来提高声表面波器件的耐功率特性。试验结果表明,这种多层复合金属薄膜电极比纯铝电极有更高的功率承受力。
关键词：声表面波(SAW) 功率特性 多层复合 金属薄膜电极 
基于165Y-75Y LiNbO_(3)的声表面波器件的声光互作用性能分析
《压电与声光》2023年第5期657-662,共6页郭谦 李楠 王石语 路远 
基础研究基金项目(2021110B179)。
该文从理论上仿真了切割方向为165°Y,传播方向为75°Y的LiNbO_(3)晶体(简称165Y LN)的表面波声光调制器的场分布及其重叠积分、驱动功率随波导厚度变化的关系,并与其他切割方向的仿真结果进行了比较。该方向位于材料退耦面内,且在该面...
关键词：声表面波器件 声光相互作用 重叠积分 LiNbO_(3) 驱动功率 
声表面波器件引线楔形键合跟部微损伤控制研究被引量：1
《压电与声光》2023年第5期682-685,共4页吴燕 柳怡 王岚 唐运红 周琴珍 
声表面波器件内连的主流工艺是硅铝丝超声键合,而跟部微损伤是该工艺最大的质量隐患。该文从超声键合原理和工艺技术出发,对造成跟部微损伤的影响因素进行了分析,并给出了相应的解决方案。该方案使声表面波器件的键合点跟部微损伤得到...
关键词：声表面波器件 超声键合 跟部微损伤 
基于铌酸锂/BCB/聚酰亚胺结构的柔性声表面波器件的设计与仿真被引量：1
《压电与声光》2023年第2期169-173,共5页陈健中 彭斌 张万里 林庚辉 高令桥 
该文采用有限元法对“铌酸锂/苯并环丁烯(BCB)/聚酰亚胺”结构的柔性声表面波器件进行了研究。结果表明,铌酸锂厚度为0.06λ~0.8λ(λ为周期)时,不能激发稳定的瑞利波,在此区间外可激发瑞利波。随着温度升高,器件的谐振频率降低,计算结...
关键词：柔性声表面波器件 铌酸锂/苯并环丁烯(BCB)/聚酰亚胺 有限元仿真 温度 
灏志不渝谱大音 老骥伏枥续新篇——贺汪承灏院士八十五华诞
《声学学报》2023年第1期1-4,共4页李风华 李俊红 
2023年1月10日是汪承灏先生八十五华诞,特撰写此文对汪先生生日表示热烈祝贺。汪先生是我国著名的物理学家、中国科学院院士。六十余年来,汪先生刻苦勤奋,忘我工作,学风严谨,勇于创新,从不迷信书本、迷信权威,在功率超声、晶体声学理论...
关键词：中国科学院院士 声表面波器件 超声学 超声无损检测 汪先生 压电换能器 微机电系统 功率超声 
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