MOCVD反应室的计算机辅助设计  

TheComputeraideddesignforMOCVDReactors

作　　者：陈维友[1] 杨丽颍[1] 张冶金[1] 曹晓光 汪爱军[1] 刘式墉[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系

出　　处：《固体电子学研究与进展》1999年第2期231-238,共8页Research & Progress of SSE

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：给出了ＭＯＣＶＤ反应室流体力学的模拟方法，介绍一个ＭＯＣＶＤ反应室设计软件。该软件通过模拟反应室内的气流分布、压力分布和温度分布情况，可用来检验现有反应室结构的合理性及设计新型反应室结构。作为分析实例，对入口区扩散气流对整个反应室气流分布的影响作了简单讨论。BasedonthetransporttheoryofMOCVDreactor,asimulatingsoftwareispresentedinthispaperforthedesignofMOCVDreactors.Thissoftwareissuitableforthetestofcurrentreactorsandthedevelopmentofnewreactors.Asaexample,theeffectoftheflowatentranceontheflowdistributioninreactorisdiscussed.

关 键 词：计算机辅助设计 半导体材料 MOCVD 外延生长 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学] TN302