全球首款MEMS玻璃管式光电倍增管在日本开发成功  

出　　处：《传感器世界》2010年第10期36-36,共1页Sensor World

摘　　要：日本滨松光电研究所最近公布，该所开发出了全球首款采用MEMS技术的光电倍增管“μPMT”，其构造为通过MEMS技术在硅底板上形成光电面及电子倍增部（倍增电极），用2张玻璃底板将其夹住形成。这种构造的最大特点是可轻松进行量产。原来的光电倍增管PMT靠人工组装数十个部件，然后封装在玻璃管内，只能少量生产。

关 键 词：MEMS技术 光电倍增管 玻璃管式 开发 日本 玻璃底板 电子倍增 PMT 

分 类 号：TN152[电子电信—物理电子学]