等离子喷涂氧化钇涂层的组织结构  

Microstructure of Y_2O_3 coating by plasma spraying

作　　者：刘邦武[1] 王文东[1] 罗小晨[1] 李超波[1] 夏洋[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029

出　　处：《金属热处理》2010年第10期16-18,共3页Heat Treatment of Metals

基　　金：国家自然科学基金(60727003);国家重大科技专项基金(2009ZX02037和2008ZX02101-3)

摘　　要：利用大气等离子喷涂技术在铝基体上制备了氧化钇涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪和金相显微镜对涂层的组织结构进行分析。结果表明:利用等离子喷涂制备的氧化钇涂层没有裂纹,比较致密,其孔隙率为5.58%;涂层由立方相和单斜相组成,喷涂粉末的相结构影响涂层的物相,粉末中的单斜相促进等离子喷涂过程中立方→单斜相变过程。The yttria（Y2O3） coating on aluminum alloy substrate was prepared by plasma spraying.The microstructure of Y2O3 coating was characterized by scanning electron microscopy（SEM）,X-ray diffraction and metallographic microscope.The results show that the Y2O3 coating is no crack and is rather compact with 5.58% porosity.The coating is composed of cubic and monolithic phase.The powder plays an important role in phase transformation of the coating.The monoclinic phase in the powder can promote cubic→monoclinic phase transformation.

关 键 词：等离子喷涂 氧化钇 涂层 组织 

分 类 号：TB321[一般工业技术—材料科学与工程]