扫描电子显微镜原理及特点  

作　　者：武开业[1] 

机构地区：[1]榆林市环境监测总站,陕西榆林719000

出　　处：《科技信息》2010年第29期I0107-I0107,共1页Science & Technology Information

摘　　要：1扫描电子显微镜成象原理 扫描电子显微镜是一种大型分析仪器，它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。 所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的，只是在结构和部件上稍有差异而已。

关 键 词：扫描电子显微镜 成象原理 表面超微结构 大型分析仪器 电子束偏转 固态物质 电子系统 图象 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]