国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线  

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出  处:《电子工业专用设备》2010年第11期64-64,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际(北京)集成电路制造有限公司,开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验,为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。

关 键 词:离子注入机 生产线 大角度 国产 集成电路制造 晶圆 自主研发 电子装备 

分 类 号:TN305.3[电子电信—物理电子学]

 

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