高精度激光伺服测微新方法的研究  

作　　者：万德安[1] 孔健[1] 

机构地区：[1]同济大学机械工程系

出　　处：《压电与声光》1999年第3期235-238,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：上海市自然科学基金

摘　　要：以激光自聚焦伺服原理为基础研究高精度的测微新方法，具有分辨率高，结构轻巧，动态响应快，非接触测量及价格低廉等优点，能够广泛方便地应用在各种位移、振动、变形及产品质量的尺寸检测等领域，测量精度可稳定达到０．１μｍ。

关 键 词：激光测微 自聚焦伺服 激光伺服聚焦 测量 

分 类 号：TH744.506[机械工程—光学工程] TN249[机械工程—仪器科学与技术]